電子與物質的相互作用。電子作用在被處理的材料中產生電離或者激發，釋放出軌道電子，形成自由基等改變原來的分子結構。自由基或者其他激活態基團能構成新的分子形式。真正的作用在于破壞化學鍵的同時伴隨生成新的化學反應，有機物分解或者原子錯位等。作為一種加工過程，電子束處理的基本效應是引起物理效應，以及化學結構的變化。
電子束是由電子加速器產生的。電子束就是一束電子，電子打到物體上大約是1～1.5cm的圓形斑點，再采用掃描技術把斑點擴展開來，形成寬度為1～1.5cm，長度為100～120cm的線條，再把這種線條用機械的方法擴充變成一個輻照面，進行輻照加工。電子加速器是用人工的方法使帶電粒子在電場中加速運動，使其達到很高的能量的電磁裝置。其分類和基本組成，可按照不同的原理加以劃分。例如按照加速粒子種類，可分電子類和離子類加速器；按能量高低的差異，可分低能，中能和高能加速器；按粒子運動軌道形式，可分為直線型、環形和螺旋型軌道加速器等等。不同的加速器，雖然特點各異，但基本組成大體可以分為三個部分。
1、產生帶電粒子的機構-電子槍或離子源。
2、加速帶電粒子的機構-這是整個加速器的主體，主要為了保證把帶電粒子順利的加速到額定能量。
它由下列四個系統組成：
A、加速電場系統-加速帶電粒子。B、導引磁場系統-控制帶電粒子，沿一定的軌道運動。C、聚焦系統-促使偏離預定軌道的帶電粒子返回到這個“理想”的軌道。D、真空系統-為帶電粒子的順利加速和運動提供真空條件，盡可能避免因與氣體分子碰撞而造成不必要的影響和損失。
3、束流的引出機構-使已加速到額定能量的粒子束偏離其原來軌道，按預定方向直線引出，或者打內靶，產生次級粒子或者輻射線。
